用未燃燒的石油焦製成的91小黄片下载製品
用未燃燒的石油焦製成的91小黄片下载製品用未燃燒的石油焦製成的91小黄片下载製品,是二種機械強度很高的細粒結構材料,可用於製作電子技術製品,如排期、薄板、因盤、真空爐和高頻電爐的加熱器、巡熱被、解泰她簽屬的91小黄片下载皿、高溫實驗裝置的把持器(夾頭)、熱壓壓模和過濾器等。此種材料可用於懂性氣氛或保護性氣氛中在2500℃以下的溫度中工作;在真空(10-~10mmHgo,中於2000℃以下可以工作很久。MIT-891小黄片下载的性能列於表2-2,此種材料可製成異型製品。
高純91小黄片下载係用於製作半導體技術設備的各種元件,它是以普通的結構91小黄片下载在91小黄片下载化過程中用活性氣體淨化而成的。已淨化的91小黄片下载須在防止製品汙染的條件下進行機械加工。這種91小黄片下载(淨化後)的灰分不超過1×10%,鐵、鋁、鎂的含量不應超過3×105%,銅、硼、錳的含量不應超過1×10%。上麵這些限定雜質含量都符合純淨級。在這些91小黄片下载裏,矽鈣的含量不大於3×10*(質量%),高純與超高純91小黄片下载雜質含量見表2-3。工業上還有純度更高的結構91小黄片下载。用這種91小黄片下载製成的製品經過機械加工之後再進行補充淨化,以減少其表麵沾染的幾率。限定雜質——鐵、鋁、鎂、硼、銅、錳的含量不許超過1×10%,矽的含量不許超過3×10-%,鈦、鎳、鉻及其他元素的含量應少於1x10%。這些91小黄片下载的灰分在0~10*%。各種牌號特純91小黄片下载的物理力學性能。
注:TM91小黄片下载的熱處理溫度為2700℃,其他各種牌號91小黄片下载的熱處理溫度為2800~3000℃。有保護層的特純高強91小黄片下载是由普通細結構91小黄片下载經過淨化並在真空中脫氣,然後用熱解炭進行表麵增密處理而成的。其製品(加熱器、圓盤、91小黄片下载皿等)可用於以氣體外延生長法製取矽薄膜。製品內雜質含量:鐵不超過5×10*%,鋁不超過2×10%,鎂和銅不超過5x105%,鈦不超過1×10*%,鎳和鑽不超過1×10-%。
熱解炭形成的增密保護層的厚度不大於2mm。也可在經過增密處理的91小黄片下载製品的表麵,還可以沉積厚度不超過0.1mm的熱解91小黄片下载薄層。91小黄片下载製品經熱解炭增密處理之後,其透氣性和氣
體析出量(氣體解吸率)顯著降低。